Padle til siliciumcarbid
Produkt detaljeret og anvendelse
Stor waferbelastningskraft siliciumcarbid SiSiC / SiC cantilever padle / bjælke er velegnet til et robot automatisk lastnings- og håndteringssystem, fordi det har stabil ydeevne, ikke-deformation ved høj temperatur og stor waferbelastningskraft. Da sektionen af cantilever-padlen er stabil uden deformation, er det muligt at fremstille wafer i større størrelse ved hjælp af eksisterende ovnrør. Stor waferbelastningskraft siliciumcarbid SiSiC / SiC cantilever padle / bjælke kan påføres LPVCD på basis af dens lignende termiske ekspansionskoefficient med LPVCD-belægning, hvilket i høj grad forlænger vedligeholdelses- og rengøringscyklussen og reducerer forurenende stoffer betydeligt.
Tekniske parametre for reaktionsbundet siliciumcarbid RBSIC:
| vare | enhed | data |
| Påføringstemperatur | ℃ | 1380 |
| massefylde | G / cm3 | > = 3,02 |
| Åben porøsitet | % | <0,1 |
| Moh's skala af hårdhed | 13 | |
| Bøjningsstyrke | MPa | 250 (20 ℃) |
| MPa | 280 (1200 ℃) | |
| Modulus af elasticitet | GPA | 330 (20 ℃) |
| GPA | 300 (1200 ℃) | |
| Varmeledningsevne | W / mk | 45 (1200 ℃) |
| Koefficient for termisk ekspansion | K-1 * 10-6 | 4.5 |
| Syrefast alkalisk | Fremragende |
Funktioner:
en. Det deformeres ikke ved høj temperatur, og waferbelastningskraften er stor;
b. Fremragende termisk stødmodstand og lang levetid;
c. Cantilever-padlens varmeudvidelseskoefficient er ekstremt lille, hvilket forlænger vedligeholdelses- og rengøringscyklussen kraftigt;
og drastisk reducere forurenende stoffer
Andre ovnmøbler fremstillet af keramik af siliciumcarbid
Udover reaktionssintret siliciumcarbid SiSiC cantilever-padle til waferbelastning producerer vi også andre ovnmøbler, herunder RBSIC / SISIC-siliciumcarbidbjælker, dyserør, spiraldyserør, hvirveldyserør, oxidbundet SIC-siliciumcarbidbat / setterplade og RBSIC-kølerør .
Brug resistente RBSIC / SISIC-siliciumcarbidprodukter
Da vores RBSIC / SISIC-siliciumcarbidprodukt har fordelene ved fremragende slidstyrke, korrosionsbestandighed og lang levetid, kan det også laves til slidbestandige foringer, som let kan installeres i forarbejdningsrør eller cykloner.
